芯片開封機(jī)基本原理:
封外殼,從而光學(xué)觀測或者電氣性能測試提供了可能性,以便于實(shí)現(xiàn)X射線等無損檢測無法實(shí)現(xiàn)的功能。
激光開封技術(shù)也可以在不破壞芯片或者電路的整體功能的前提下,去除局部的塑封材料,進(jìn)行測試甚至修復(fù)實(shí)驗(yàn)。與化學(xué)開封技術(shù)相比,激光開封更加高效,同時(shí)避免了減少強(qiáng)酸環(huán)境暴露。
應(yīng)用領(lǐng)域:
去除半導(dǎo)體芯片的塑封外殼,PCB板截面切割,以及其它類似的破壞性物理試驗(yàn)或失效分析場景。
產(chǎn)品優(yōu)勢:
來自德國的高精密激光掃描頭(SCANLAB)
激光脈沖寬度可調(diào)(1ns-300ns)
激光系統(tǒng)與CCD視覺系統(tǒng)同軸共焦,實(shí)時(shí)觀測激光掃描過程
可直接導(dǎo)入X-Ray或者超聲波掃描圖像,為復(fù)雜定點(diǎn)開封提供支持
強(qiáng)大的軟件功能,保證了定位、區(qū)域標(biāo)定、聚焦、參數(shù)設(shè)定、條碼繪制等功能得以簡潔可靠地實(shí)現(xiàn)
高性能煙塵過濾系統(tǒng),自動(dòng)震動(dòng)防堵,可過濾98%以上0.3um直徑的環(huán)氧樹脂顆粒
技術(shù)參數(shù): |
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型號 | GLOBAL ETCH II ML-20 | 最大掃描范圍 | 110mm x 110mm |
激光類型 |
風(fēng)冷式光纖激光器 |
實(shí)時(shí)操作模式 | 同軸和共焦 |
激光波長 | 1064nm | 樣品尺寸 | 0.5mm - 70mm |
功率 | 20W | 激光壽命 | ≥ 80000小時(shí) |
輸出功率范圍 | 1% ~ 100% | 設(shè)備安全等級 | Class I (互鎖) |
脈沖寬度 | 1ns-300ns | 煙塵過濾器 | 1.8kPa,0.3µ的顆粒 |
光束質(zhì)量 | M² ≤ 1.3 | 設(shè)備尺寸 | 730 x 1100 x 1600mm |
單次開封深度 | 0.01mm~2mm | 壓縮氣體 | 大于0.3MPa(同時(shí)吹吸,油水分離) |
開封速度 | ≥ 8000mm/s | 相機(jī) | 1500萬像素彩色照相機(jī) |
激光頻率 | 1Khz-4000Khz | 重量 | 280KG |
注:單位時(shí)間內(nèi)激光出光的重復(fù)率所調(diào)節(jié)的能量范圍對于開銅線非常重要 |